为进一步满足校内外各研究团队对微纳结构分析的需求，提升分析测试中心微纳结构分析与加工的能力，中心所购置的Thermoscientific Helios 5 CX聚焦离子/电子双束电子显微镜近期完成设备安装与调试，将于2022年6月13日开放试运行，欢迎校内外师生、用户积极预约使用。

一、设备信息与技术指标

1.设备型号：Thermoscientific Helios 5 CX

2.配置与技术指标

2.1 扫描电子束（SEM）成像：15 kV时，分辨率0.6 nm；1 kV时，分辨率1.0 nm； STEM成像，30 kV时，分辨率0.5 nm。

2.2 离子束成像与微加工：液态Ga离子源；加速电压：0.5 kV-30 kV；30 kV时分辨率2.5 nm；配置Pt、W、C三种气体源。

2.3 能谱仪：牛津AZtecLive UltimMax 170能谱仪，可实现材料成分分析。

2.4 二次离子质谱仪（TOF-SIMS）为材料三维化学与分子信息表征提供重要技术支撑。

二、设备能力与特色

1. 可对材料进行微纳结构表征与加工、透射电镜样品定点制备（特别是为原位透射电镜样品制备提供了重要保障）等。

2. 该设备电子束成像（扫描电镜）性能优异，配备探测器齐全，包括SE、BSE、MD、ICD、ICE、STEM等，可多种信号同时成像，因此可满足部分扫描电镜测试需求。

3. 配置的STEM探测器，可实现透射成像，满足纳米材料透射（内部）成像需求，可作为部分纳米材料（放大倍数要求不高与低电压需求）透射电镜测试的替代。

4. 二次离子质谱分析对于轻元素（氢、锂、硼和碳等）更灵敏，可用于同位素分析，为材料三维化学和分子信息表征提供重要技术支撑。

三、试运行办法

1. 试运行期间工作日、工作时间可预约，周一至周五 8:30-12:00；13:30-17:30。

2. 收费标准：试运行期价格优惠，欢迎有需求的用户咨询。

3. 预约方式：试运行期间使用预约请直接与设备管理老师联系。

四、设备存放地点：重庆大学虎溪校区理科楼分析测试中心LF109室

五、设备管理老师与联系方式：

张老师，手机：15201585493，欢迎各位用户咨询预约。