分析测试中心新购置的电子背散射衍射仪（EBSD系统）已于近期完成安装与调试，将于2023年11月7日至12月7日开放试运行，欢迎广大校内外师生、用户了解、预约、使用。

仪器品牌：Oxford （牛津仪器）

仪器型号：Symmetry S3

仪器简介：该EBSD系统安装于聚焦离子束双束（FIB，Heilos 5 CX）系统上。该系统主要用于综合的微区晶体学信息分析与微观组织表征（包括：相鉴定、相分布、晶粒尺寸与取向、晶界分析等），具有精准、高效的特征，同时结合FIB主机的微加工能力，也可实现晶体学信息的三维重构。此外，该FIB系统除了EBSD系统外，同时还配置了超大面积能谱仪（Oxford Ultim Max 170mm2）与飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）等，可以实现成分的快速分析与三维分布解析等，为该FIB系统提供了强大的综合分析能力。

主要技术参数：

1.可实现EDS 与EBSD同时采集数据以及相应 3D功能。

2.EBSD最高在线采集速度大于4500点/秒（156x88像素）；EBSD像素分辨率最高达1244*1024，此时最大采集速度240点每秒。

3.角度分辨率可达0.05度。

4.配置HKL标准数据库和ICSD海量晶体学数据库。

5.AZtec动态自动背景扣除技术，探测器参数自动优化，大大减轻用户工作量。切换样品、更换分析位置、以及EBSD探测器伸缩后均无需重新扣除背景或重新优化。

6.采用最优化的Hough变换，多条带标定方法（最多可以用12根菊池带进行标定），根据平均角度偏差MAD结构因子进行完全自动化的菊池带识别和花样标定。

送样与预约：

1.样品情况：样品尺寸一般不超过10mm*10mm*5mm（长*宽*高/厚）；样品表面光滑平整，无较大应变，建议进行抛光处理（电解抛光、离子抛光等）；导电性良好。

2.收费标准：试运行期内，每位用户可免费试用2小时，同一课题组（同一导师账户）总免费机时不超过6小时；超出免费机时部分按300元/小时（校内）、500元/小时（校外）优惠价计费。（试运行仅包含EBSD表征，其他测试项目按照设备正常价格收取）。

3.预约方式：请联系张老师，15201585493。管理员将按照预约先后顺序，安排实际测试时间。每周开放时间有限，请大家尽早预约与准备。

其他事项：

测试地点：虎溪校区理科楼分析测试中心LF109

中心TEM/FIB/EBSD测试交流群：QQ 293390946