仪器品牌：NETZSCH
仪器型号：NanoTR
仪器配置简介：
仪器包含薄膜导热测量主机系统，通过热反射法测量薄膜的热扩散系数和界面热阻，基本单元包括加热激光系统 (波长1550 nm，脉冲宽度1ns )、检测激光系统 (CW 激光，785nm，连续)、放大器和数据采集系统，X，Y点阵台，样品加热台，可使得样品温度达到300℃及以上。配备离子溅射仪，可对样品表面镀金属钼。
基本功能：
本设备是基于超高速激光闪射系统的热反射方法，有两种测量模式RF或FF。RF模式是主激光源从反面加热薄膜，检测激光从正面测量薄膜的温度升高过程，从而计算薄膜的导热性能参数，此模式适用于透明基片。FF模式是主激光源从正面加热薄膜，检测激光从正面测量薄膜的温度下降过程，从而计算薄膜的导热性能参数，此模式适用于不透明基片。薄膜导热仪广泛应用于相变材料（PCM），热电薄膜，发光二极管（LED），夹层电介质和透明导电薄膜等领域，为研究纳米级别材料的热物性能提供理论依据，是实现物理、材料、化学、能源等多学科交叉深入研究的有力工具。
主要技术参数：
1.测量方法：高速激光闪射法，时间域热反射法
2.温度范围：室温～300℃
3.升温速率（线性）：0.01至10℃/min
4.测量模式：后加热前检测（RF）、前加热前检测（FF）
5.测试气氛：惰性、氧化、还原
6.加热激光脉冲宽度：1ns
7.加热激光波长：1550nm
8.加热激光光斑直径：100um
9.样品薄层厚度：30nm～20um
10.基体材料：透明/不透明
11.基体材料尺寸：10～20 mm(方形)
12.基体材料厚度：＜1 mm
13.薄膜热扩散系数测试范围：0.01～1000mm2/s
14.薄膜热扩散系数测量重复性：5%
15. 薄膜热扩散系数测量准确性：7%
送样要求：
样品制作为边长10～20mm方形，设备有两种模式，分别为RF模式和FF模式，FF模式要求薄膜厚度≥1μm，RF模式测量树脂材料薄膜厚度在30nm～2μm，陶瓷材料在300nm～5μm，金属材料在1μm～20μm。
