品牌：徕卡       型号：EM RES 102

主要技术指标：

1. 离子能量范围：0.8KeV至10KeV（0.1KeV 每步）；

2. 离子枪电流：最大4.5mA （每个离子源）；

3. 离子枪最大倾转角度每把枪±45°（设置精度0.1°），电脑设置，自动控制；

4. 样品台具备倾斜功能，倾斜角度不窄于-120°-210°；

5. 使用气体：氩气<1sccm每离子源，气体流速自动控制。