为更好地进行设备调试,让广大校内师生更好地体验设备的功能和性能,探索样品制备参数,中心新购置的离子减薄仪于今日(11月4日)起至2019年11月29日面向校内用户免费体验使用。欢迎校内师生前来咨询测试。
设备负责老师:张斌 15201585493。
离子减薄仪技术参数:
品牌:徕卡 型号:EM RES 102
主要技术指标:
1. 离子能量范围:0.8KeV至10KeV(0.1KeV 每步);
2. 离子枪电流:最大4.5mA (每个离子源);
3. 离子枪最大倾转角度每把枪±45°(设置精度0.1°),电脑设置,自动控制;
4. 样品台具备倾斜功能,倾斜角度不窄于-120°-210°;
5. 使用气体:氩气<1sccm每离子源,气体流速自动控制。