制造商：日本电子  产地：日本

仪器型号：JXA-8530F Plus

主要技术指标:

1.电子光学系统

电子枪：高亮度长寿命肖特基场发射枪

二次电子像分辨率：≤3 nm

束斑尺寸：≤20 nm(10 kv，1×10^-8 A，工作距离11 mm)

束斑尺寸：≤50 nm(10 kv，1×10^-7 A，工作距离11 mm)

加速电压：1 ~ 30 Kv

最大束流：12 μA

2.波普系统

分析元素：4Be ~ 92U

分析精度：主量元素优于1%（含量大于5%时），次要元素优于5%（含量~1%时）

谱仪：5道

3.光学显微系统

分辨率：≤1 μm

放大倍率：300倍

焦深：≤±1 μm

4.一体化能谱仪系统

探测器：电制冷，SDD检测器，有效面积：30 mm²

分析元素范围：4Be ~ 92U，可用于材料元素分布快速分析

能量分辨率：Mn Kα 优于129 eV

可以实现和波谱仪同时工作

主要应用及功能：物质微小区域（微米级）的化学组成进行定性或定量分析

送样要求：

1.导电非磁性固体（非导电物质需要表面喷碳处理）

2.表面平整，面积不能小于10*10mm