一、仪器功能：

扫描电子显微镜是利用高能电子束与样品物质相互作用产生二次电子，背反射电子，X射线等信号。这些信号分别被不同的接收器接收，经放大后与显象管相应偏转线圈上的电流同步逐点成像并得到其成分信息。环境扫描电子显微镜是一种多功能的仪器、具有很多优越的性能、是用途最为广泛的一种仪器。它可以进行如下基本分析：（1）形貌的观察和分析；（2）在观察形貌的同时，进行微区的成分分析。

二、仪器品牌：

    赛默飞世尔公司

三、仪器型号：

    Quattro S

四、主要技术指标

1. 分辨率：

高真空：≤1.0nm @ 30 kV (SE), ≤3.0nm @1kV (SE), ≤2.5nm @ 30kV (BSE) ;

低真空：≤1.3nm @ 30 kV (SE), ≤3.0nm @3kV (SE), ≤2.5nm @ 30kV (BSE) ;

环境真空：≤1.3nm @ 30 kV (SE)；

2. 束流大小：1pA - 200nA

3. 可变真空：10 – 4000 Pa

4. 加速电压：200V – 30kV

5. 发射源：高分辨肖特基场发射电子枪