仪器品牌：Harrick Plasma

仪器型号：PDC-002

技术指标：

1. 舱体大小：直径6 x深6.5英寸圆柱体舱 (152mmx165mm)。

2. 舱体材质：标配为派瑞克斯玻璃舱可选配高纯度石英舱。

3. 常用气体：空气，氧气，氢气，氩气，氮气和其他混合气体。

4. 气路控制：标配一路气体；可选配多路气体混合计量控制。

5. 射频频率：13.56MHz。

6. 射频档位：低档：716V/10mA/7.16W；中档：720V/15mA/10.15W；高档：740V/40mA/29.6W。

7. 输入功率：电源：220V/50Hz；功率：200W。

基本功能：

1. 清洗：去除纳米级的残留物；加强打线键合前的粘着性。

2. 灭菌处理：去除表面残留微生物。

3. 表面改性：在材料表面产生官能分子。

4. 活化：渲染表面的亲水性或疏水性；键合和沉积前的表面预处理。

5. 聚合处理：沉积带官能分子团的聚合物；等离子活化表面；移植聚合物到活化后的材料表面。