仪器品牌：Leica

仪器型号：EM ACE 600

技术指标：

1.全无油真空系统：内置隔膜泵+分子泵；工作时气压：Ar，达1×10^-2mbar，工作前真空度需达到5×10^-5 mbar。

2.镀膜靶源采用倾角式设计，配置旋转样品台，可使镀膜最均匀；可实现多种金属碳喷镀，碳丝蒸发镀膜，可选闪光式或脉冲式蒸发功能。

3.样品室内径：不小于宽200×深150×高180 mm；标准工作台直径大于100mm，至少可插入25个SEM样品座。

4.靶材：高纯度Pt，高纯度Au，碳靶。

基本功能：

Leica EM ACE600是一款多功能型高真空镀膜系统，用于制备超薄，细颗粒的导电金属膜和碳膜，以适用于FE-SEM和TEM超高分辨率分析所需的镀膜要求。

送样要求：

固体。