仪器品牌:NETZSCH
仪器型号:NanoTR
仪器配置简介:
仪器包含薄膜导热测量主机系统,通过热反射法测量薄膜的热扩散系数和界面热阻,基本单元包括加热激光系统 (波长1550 nm,脉冲宽度1ns )、检测激光系统 (CW 激光,785nm,连续)、放大器和数据采集系统,X,Y点阵台,样品加热台,可使得样品温度达到300℃及以上。配备离子溅射仪,可对样品表面镀金属钼。
基本功能:
本设备是基于超高速激光闪射系统的热反射方法,有两种测量模式RF或FF。RF模式是主激光源从反面加热薄膜,检测激光从正面测量薄膜的温度升高过程,从而计算薄膜的导热性能参数,此模式适用于透明基片。FF模式是主激光源从正面加热薄膜,检测激光从正面测量薄膜的温度下降过程,从而计算薄膜的导热性能参数,此模式适用于不透明基片。薄膜导热仪广泛应用于相变材料(PCM),热电薄膜,发光二极管(LED),夹层电介质和透明导电薄膜等领域,为研究纳米级别材料的热物性能提供理论依据,是实现物理、材料、化学、能源等多学科交叉深入研究的有力工具。
主要技术参数:
1.测量方法:高速激光闪射法,时间域热反射法
2.温度范围:室温~300℃
3.升温速率(线性):0.01至10℃/min
4.测量模式:后加热前检测(RF)、前加热前检测(FF)
5.测试气氛:惰性、氧化、还原
6.加热激光脉冲宽度:1ns
7.加热激光波长:1550nm
8.加热激光光斑直径:100um
9.样品薄层厚度:30nm~20um
10.基体材料:透明/不透明
11.基体材料尺寸:10~20 mm(方形)
12.基体材料厚度:<1 mm
13.薄膜热扩散系数测试范围:0.01~1000mm2/s
14.薄膜热扩散系数测量重复性:5%
15. 薄膜热扩散系数测量准确性:7%
送样要求:
样品制作为边长10~20mm方形,设备有两种模式,分别为RF模式和FF模式,FF模式要求薄膜厚度≥1μm,RF模式测量树脂材料薄膜厚度在30nm~2μm,陶瓷材料在300nm~5μm,金属材料在1μm~20μm。