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薄膜导热测量系统
2023-09-05 14:40  

仪器品牌:NETZSCH

仪器型号:NanoTR

仪器配置简介:

仪器包含薄膜导热测量主机系统通过热反射法测量薄膜的热扩散系数和界面热阻基本单元包括加热激光系统 (波长1550 nm脉冲宽度1ns )、检测激光系统 (CW 激光785nm连续)、放大器和数据采集系统,X,Y点阵台,样品加热台,可使得样品温度达到300℃及以上。配备离子溅射仪,可对样品表面镀金属钼。

基本功能:

本设备是基于超高速激光闪射系统的热反射方法,有两种测量模式RF或FF。RF模式是主激光源从反面加热薄膜,检测激光从正面测量薄膜的温度升高过程,从而计算薄膜的导热性能参数,此模式适用于透明基片。FF模式是主激光源从正面加热薄膜,检测激光从正面测量薄膜的温度下降过程,从而计算薄膜的导热性能参数,此模式适用于不透明基片。薄膜导热仪广泛应用于相变材料(PCM),热电薄膜,发光二极管(LED),夹层电介质和透明导电薄膜等领域,为研究纳米级别材料的热物性能提供理论依据,是实现物理、材料、化学、能源等多学科交叉深入研究的有力工具。

主要技术参数:

1.测量方法:高速激光闪射法,时间域热反射法

2.温度范围:室温~300℃

3.升温速率(线性):0.01至10℃/min

4.测量模式:后加热前检测(RF)、前加热前检测(FF)

5.测试气氛:惰性、氧化、还原

6.加热激光脉冲宽度:1ns

7.加热激光波长:1550nm

8.加热激光光斑直径:100um

9.样品薄层厚度:30nm~20um

10.基体材料:透明/不透明

11.基体材料尺寸:10~20 mm(方形)

12.基体材料厚度:<1 mm

13.薄膜热扩散系数测试范围:0.01~1000mm2/s

14.薄膜热扩散系数测量重复性5%

15. 薄膜热扩散系数测量准确性:7%

送样要求:

样品制作为边长10~20mm方形,设备有两种模式,分别为RF模式和FF模式FF模式要求薄膜厚度≥1μmRF模式测量树脂材料薄膜厚度在30nm~2μm,陶瓷材料在300nm~5μm,金属材料在1μm~20μm。


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