仪器品牌：Oxford （牛津仪器）

仪器型号：Symmetry S3

仪器简介：该EBSD系统安装于聚焦离子束双束（FIB，Heilos 5 CX）系统上。该系统主要用于综合的微区晶体学信息分析与微观组织表征（包括：相鉴定、相分布、晶粒尺寸与取向、晶界分析等），具有精准、高效的特征，同时结合FIB主机的微加工能力，也可实现晶体学信息的三维重构。此外，该FIB系统除了EBSD系统外，同时还配置了超大面积能谱仪（Oxford Ultim Max 170mm2）与飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）等，可以实现成分的快速分析与三维分布解析等，为该FIB系统提供了强大的综合分析能力。

主要技术参数：

1.可实现EDS 与EBSD同时采集数据以及相应 3D功能。

2.EBSD最高在线采集速度大于4500点/秒（156x88像素）；EBSD像素分辨率最高达1244*1024，此时最大采集速度240点每秒。

3.角度分辨率可达0.05度。

4.配置HKL标准数据库和ICSD海量晶体学数据库。

5.AZtec动态自动背景扣除技术，探测器参数自动优化，大大减轻用户工作量。切换样品、更换分析位置、以及EBSD探测器伸缩后均无需重新扣除背景或重新优化。

6.采用最优化的Hough变换，多条带标定方法（最多可以用12根菊池带进行标定），根据平均角度偏差MAD结构因子进行完全自动化的菊池带识别和花样标定。

送样要求：

样品尺寸一般不超过10mm*10mm*5mm（长*宽*高/厚）；样品表面光滑平整，无较大应变，建议进行抛光处理（电解抛光、离子抛光等）；导电性良好。