仪器品牌：日立公司（Hitachi）

仪器型号：SU8600

仪器功能：

超高分辨冷场发射扫描电子显微镜因在电子光学系统的独特设计，具有低电压-超低电压下的超高分辨观察及微区分析能力，可广泛用于金属、非金属、生物等各种材料在纳米尺度下的形态、形貌、物相、晶体结构观察及微区成分分析。因具备了优异的低电压成像和分析性能，甚至可实现不导电样品及热敏样品原始情况下的纳米尺度表征，还原样品真实形态和性能，有利于微观角度准确理解材料的物理和化学性质。

主要技术指标：

1.电子枪：冷场发射电子枪（含有Mild Flash技术）

2.分辨率：

2.1 SE分辨率 15KV：0.6nm (工作距离4mm)

2.2 SE分辨率 1KV：0.7nm （工作距离1.5mm）

3.放大倍率：

底片倍率：最小≤20倍，最大≥2,000,000倍，底片和显示器倍率可同时显示

4.加速电压:

加速电压：0.5 ～ 30kV (10V/step)，着陆电压：0.01 ～ 20kV (10V/ste)

5.样品换样方式：标配6英寸预抽室，预抽室端面透明，可观察到样品交换过程，具有样品安装到位提示，避免样品在安装时脱落

6.非接触防碰撞保护功能，无需红外相机即可避免样品台碰撞

7.样品室闲置接口：14个（标配情况下）

8.SEM-MAP光镜导航功能：一体化导航相机，最大导航视野直径75mm

9.能谱仪参数：探测器：SDD硅漂移电制冷探测器，有效面积170mm²，高分子超薄窗设计。重元素能量分辨率：Mn Ka优于127eV（@计数率130,000cps）；元素分析范围: Be4～Cf98。（英国Oxford公司）